激光全息光刻机的调节方式
1.按正常的开机次序开机,留意务必将工业冷水机开启,并等候工业冷水机实时温度与设定温度一致时能够开展下一步实际操作。
2.拆装激光全息光刻机保护罩,留意不可以碰擦;按正常的待机方式关掉激光发生器和Q开关电源电路。
3.用变光倍频片或薄纸观察这时红色光导出及反馈情况,以红色光指示仪屏有圆靓光斑合适。若红色光光斑有好几个,先后调节红色光指示仪至扩束镜各调节螺母,至达到要求才行。
4.开启激光发生器,调节电流量至14~15A范畴,尽量不要超出15A合适,用变光倍频片在激光发生器前观察激光器导出是不是为圆靓光斑。
5.将倍频片置放在扩束镜后观察有没有激光器导出。如果没有,迟缓调节各调节螺母,按序先后调节至有靓圆光斑才行。
6.将电流量迟缓下降,观察倍频片光斑高低,先后调节调节螺母至光斑圆靓。
7.反复第6步实际操作,少4~6次,获得圆靓光斑,这时电流量应是10A下列合适,尽量不要超出12A。
8.将倍频片置放在工作桌上,这时操作台应是聚焦点部位(大约间距为22~22.5cm),观察激光器光斑高低,也可略微增加电流量调整调节螺母,至获得牛光斑才行。留意此过程为调整。
9.开启Q电源开关,开展试刻,(试刻主要参数为正常的激光打标主要参数就可以)若光照强度达到要求,调节到此结束。
10.组装保护罩。